Задача
Французская компания Riber является ведущим мировым поставщиком оборудования для молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ), применяемого для осаждения кристаллов при производстве полупроводников. Специалисты компании провели ряд исследований, результатом которых стало создание линейного устройства для сортировки кремневых подложек и загрузки их в вакуумную камеру. Основу конструкции составляет система линейных направляющих, установленная на конце поворотного рычага.
Процесс МЛЭ, используемый в производстве электронных устройств, требует точного позиционирования кремниевых подложек в высоковакуумной камере. Реализация этого процесса подразумевает целый ряд сложностей, связанных с точностью и плавностью перемещения, усугубляемых при работе в условиях абсолютного давления 10-9 мбар. При этом большинство стандартных вакуумных систем рассчитаны на давление до 10-6 мбар.
Когда перед инженерами Riber была поставлена задача по замене системы позиционирования, они обратились в компанию HepcoMotion® с целью приобретения подшипников типоразмера 34 для работы в вакууме. Эти подшипники, полностью изготовленные из нержавеющей стали, уже доказали свою высокую эффективность при работе в вакууме до 10-6 мбар. Для обеспечения их работоспособности в более глубоком вакууме компания HepcoMotion® использовала специальную вакуумную смазку, заполнив ею герметичные подшипники. Такое решение позволяет конструкции работать в условиях глубокого вакуума в течение длительного времени без поломок.
Решение
Решение от компании HepcoMotion®, заменившее менее надежный узел, позволяет отрегулировать предварительный натяг конструкции, полностью устранив люфт. Это обеспечило улучшенную повторяемость при невиданном ранее уровне надежности.
Длина перемещения в процедурах переноса подложек может варьироваться, однако стандартное решение Riber предусматривает использование плоских направляющих SL2 (SSM44 длиной 1000 мм) с подшипниками VACSS SJ34C (2 шт.) и VAC SSSJ34E (2 шт.), установленными в специальную каретку с реечным приводом. Конструкция оптимизирована для обеспечения максимального удобства установки.
Объем поставки
Компания Riber на постоянной основе использует специальные подшипники на базе VAC SS SJ 34 C/E в сочетании с плоскими направляющими из нержавеющей стали SS M 44, на которых установлена рейка, также изготовленная из нержавеющей стали.
Результат
Теперь у компании Riber есть надежное решение, позволяющее регулировать фрикционное сопротивление в соответствии с нагрузкой, поддерживая высокий уровень точности. Система с низким коэффициентом трения жизненно важна для предотвращения фреттинг-коррозии в местах контакта деталей из нержавеющей стали без смазки. Любое загрязнение внутри вакуумной камеры может поставить под угрозу процесс МЛЭ, приводя к порче подложек. V-образные направляющие HepcoMotion® смогли обеспечить уверенность, необходимую для выполнения этой специализированной задачи.
В настоящее время в проектном бюро компании Riber ведутся новые разработки, в которых задействованы другие продукты Hepco, такие как кольцевые направляющие PRT2.
Назад